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GRM602 Pompa a vuoto secco a radici a più stadi 600 m3/h Pompa a vuoto a media capacità senza olio per il processo dei semiconduttori
GRM602 Pompa a vuoto secco a radici a più stadi 600 m3/h Pompa a vuoto a media capacità senza olio per il processo dei semiconduttori
  • GRM602 Pompa a vuoto secco a radici a più stadi 600 m3/h Pompa a vuoto a media capacità senza olio per il processo dei semiconduttori

GRM602 Pompa a vuoto secco a radici a più stadi 600 m3/h Pompa a vuoto a media capacità senza olio per il processo dei semiconduttori

Dettagli del prodotto:
Luogo di origine: Cina
Marca: Baosi
Certificazione: CE
Numero di modello: GRM601
Informazioni dettagliate
Luogo di origine:
Cina
Marca:
Baosi
Certificazione:
CE
Numero di modello:
GRM601
Velocità di pompaggio:
un ³ /h da 600 m.
Pressione estrema:
≤0,15 Pa
Potenza del motore:
1,9+1,9 kW
Voltaggio:
380 V/trifase
Ingresso:
ISO100
Presa:
KF25
Rumore:
≤63dB(A)
Peso:
260 kg
Dimensioni:
865×344×751 mm
Acqua di raffreddamento:
0,1-0,6 MPa, ≥4 l/min
Spurgo N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 l/min
Evidenziare:

High Light

Evidenziare:

Pompa a vuoto secca senza olio GRM602

,

pompa a vuoto a radici a più fasi

,

Pompa per vuoto per processi a semiconduttore

Informazioni di trading
Quantità di ordine minimo:
1 insieme
Prezzo:
negotiable
Imballaggi particolari:
Imballaggio standard in cassa di legno per esportazione
Tempi di consegna:
15-30 giorni lavorativi
Termini di pagamento:
T/T
Capacità di alimentazione:
50 set/mese
Descrizione del prodotto

Pompa per vuoto a secco multistadio per radici GRM602 — Soluzione a media capacità da 600 m³/h

La GRM601 è una pompa per vuoto a secco roots multistadio di media capacità che offre una velocità di pompaggio di 600 m³/h con un'impressionante pressione finale di ≤0,15 Pa. I suoi doppi motori sincroni a magneti permanenti da 1,9+1,9 kW forniscono un vuoto affidabile senza olio per applicazioni con semiconduttori, fotovoltaico e batterie al litio.

Caratteristiche principali

  • Design delle radici multistadio:Elevata velocità di pompaggio con basso consumo energetico
  • Configurazione a doppio motore:1,9+1,9 kW per un funzionamento equilibrato ed efficiente
  • Pressione finale ultrabassa:≤0,15 Pa per requisiti di processo impegnativi
  • Ultra silenzioso:≤63 dB(A) — ideale per ambienti cleanroom
  • Meccanismo senza olio:Zero contaminazione da olio per processi sensibili
  • Gestione superiore delle particelle:Struttura del rotore avanzata per processi polverosi
  • Integrazione compatta:865*344*751 mm, 260 kg
  • Insensibile alla polvere e al vapore:Affidabile con sottoprodotti di processo e umidità
  • Sigillatura avanzata:Guarnizione a labbro + labirinto + protezione spurgo azoto
  • Intelligenza remota:I/O e RS485 (Modbus) per l'automazione di fabbrica

Specifiche tecniche

Modello GRM602
Velocità di pompaggio 600 m³/h
Pressione finale (senza spurgo) ≤0,15 Pa
Potenza del motore 1,9 + 1,9kW
Voltaggio 380 V (trifase)
Connessione di ingresso ISO100
Connessione di uscita KF25
Livello di rumore ≤63dB(A)
Peso 260 chilogrammi
Dimensioni (L*P*A) 865*344*751mm
Pressione dell'acqua di raffreddamento 0,1–0,6 MPa
Flusso dell'acqua di raffreddamento ≥4 l/min
Pressione di spurgo N₂ 0,2–0,6 MPa
Flusso di spurgo N₂ 12–50 l/min
Temperatura operativa 5–40°C; ≤90% di umidità relativa

Applicazioni

  • Semiconduttore: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, incisione del metallo, incisione del silicio
  • Fotovoltaico: crescita dei cristalli, produzione di celle solari
  • Batteria al litio: essiccazione delle celle, riempimento dell'elettrolita, degasaggio
  • Display a schermo piatto: processi produttivi di LED e LCD

Tag:

pompa per vuoto a turbina,

Pompa ad alto vuoto,

Pompa a vuoto secca senza olio GRM602

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