Pompa a vuoto a secco raffreddata ad acqua 200m³/h, ≤0.5Pa, 1.9kw, GRM201

Specifiche

• Basso consumo energetico,
• Elevata velocità di pompaggio,
• Forte capacità di rimozione della polvere,
• La capacità di trasportare facilmente gas di processo condensabili.

La velocità di pompaggio stabile la rende adatta a processi con grandi volumi di scarico, offrendo alta affidabilità e bassi costi operativi e di manutenzione. È adatta a processi puliti, moderati ed esigenti come PECVD, MOCVD e SiC-CVD in settori come il fotovoltaico e i semiconduttori.
 

Caratteristiche del prodotto

• Utilizza un motore sincrono a magneti permanenti per un minore consumo energetico.
• La struttura avanzata del rotore migliora la capacità di rimozione della polvere della pompa.
• Insensibile alla polvere e al vapore acqueo nel gas pompato;
• Struttura compatta, dimensioni complessive ridotte ed elevata efficienza del sistema;
• Funzioni di protezione complete e forte adattabilità;
• Basse vibrazioni e rumore durante il funzionamento; un sistema avanzato di tenuta a labbro e tenuta a labirinto, combinato con la purga di azoto, assicura efficacemente una camera della pompa priva di olio, migliorando la pulizia del vuoto della camera di processo.
• Sono possibili funzioni di controllo e monitoraggio remoto tramite l'interfaccia I/O e l'interfaccia RS-485 (protocollo Moudbus).

PARAMETRI TECNICI

Curva di pompaggio

Disegno 

Applicazioni:

È adatta a processi puliti, moderati ed esigenti come PECVD, MOCVD e SiC-CVD in settori come il fotovoltaico e i semiconduttori.