La GRH3001 è una pompa per vuoto a camme a secco ad alta capacità che offre una velocità di pompaggio di 3000 m³/h con pressione finale ≤0,5 Pa. Con una potente configurazione a doppio motore da 11+7,5 kW, gestisce i processi di produzione di semiconduttori, fotovoltaici e batterie al litio più impegnativi mantenendo un funzionamento privo di contaminazioni.
| Modello | GRH3001 |
|---|---|
| Velocità di pompaggio | 3000 m³/h |
| Pressione estrema | ≤0,5 Pa |
| Potenza del motore | 11+7,5 kW |
| Voltaggio | 380 V (trifase) |
| Connessione di ingresso | ISO160 |
| Connessione di uscita | KF40 |
| Livello di rumore | ≤70dB(A) |
| Peso | 770 chilogrammi |
| Dimensioni (L*P*A) | 922*516*988mm |
| Pressione dell'acqua di raffreddamento | 0,1–0,6 MPa |
| Flusso dell'acqua di raffreddamento | 11 l/min |
| Pressione di spurgo N₂ | 0,2–0,6 MPa |
| Flusso di spurgo N₂ | 43/97/123 l/min |
| Temperatura operativa | 5–40°C; ≤90% di umidità relativa |