Pompa a vuoto secco raffreddata ad acqua BAOSI GRM601,600m3/h, ≤0,15Pa, 1,9+1,9kW

Caratteristica:

• basso consumo energetico,
• Alta velocità di pompaggio,
• Forte capacità di rimozione della polvere,
• Capacità di trasportare gas di processo facilmente condensabili.
• La velocità di pompaggio stabile lo rende adatto a processi con grandi volumi di gas di scarico, offrendo elevata affidabilità e bassi costi di esercizio e manutenzione.

• Utilizza un motore sincrono a magnete permanente per ridurre il consumo energetico.
• La struttura avanzata del rotore migliora la capacità di rimozione della polvere della pompa.
• Insensibile alla polvere e al vapore acqueo nel gas pompato;
• Struttura compatta, dimensioni ridotte e elevata efficienza del sistema;
• Funzioni di protezione complete e forte autoadattabilità;
• Basse vibrazioni e rumore durante il funzionamento; un avanzato sistema di sigillatura labirintica e di sigillatura labirintica, combinato con la purga di azoto, garantisce efficacemente una camera di pompaggio priva di olio,migliorare la pulizia del vuoto della camera di processo.
• Le funzioni di controllo e monitoraggio a distanza sono possibili tramite l'interfaccia I/O e l'interfaccia RS-485 (protocollo Modbus).

Parametro tecnico

Curva di pompaggio

Disegno dimensionale in linea

Applicazione:

• Nell'industria dei semiconduttori, i processi puliti, moderati e duri includono l'incisione, l'impianto di ioni e la CVD.
• Nell'industria fotovoltaica, siate prudenti con i forni di crescita e i processi di fabbricazione delle celle.
• Nell'industria delle batterie agli ioni di litio, processi quali l'essiccazione sotto vuoto, il riempimento di elettroliti e la degassatura delle celle delle batterie sono cruciali.