GRM4201 Grande pompa a vuoto secco a radici a più stadi 4200 m3/h priva di olio per il trasferimento di carico

La GRM4201 è una pompa per vuoto a secco roots multistadio su larga scala progettata specificatamente per camere Load-Lock, camere di trasferimento e applicazioni di pompaggio rapido. Con una velocità di pompaggio di 4.200 m³/h e una configurazione a doppio motore da 13+10 kW, soddisfa le esigenze della produzione di celle solari a eterogiunzione e delle gigafabbriche di batterie al litio dove il ciclo rapido e l'integrità dell'elevato vuoto sono fondamentali.

• Capacità ultraelevata:4200 m³/h per rapidi cicli di pump-down Load-Lock
• Radici multistadio + Booster:Alto vuoto con ampio intervallo di pressioni di esercizio
• Potente doppio motore:Motori sincroni a magneti permanenti da 13+10 kW
• Design unico del rotore:Ottimizzato per un basso consumo energetico con alta efficienza
• Aspirazione pulita senza olio:Nessuna contaminazione da olio: ideale per semiconduttori e solare
• Produzione di precisione:Rotori avanzati lavorati a CNC con completa intercambiabilità
• Supporto per cuscinetti a doppia estremità:Supporto del rotore ultra affidabile con vibrazioni minime
• Affidabilità di avvio superiore:Progettato per cicli di processo impegnativi
• Sigillatura avanzata:Guarnizione a labbro + barriera antiolio a labirinto + spurgo con azoto: veramente oil-free
• Motore sigillato raffreddato ad acqua:Elimina il rischio di perdite d'olio e prolunga la durata
• Controllo intelligente:Avvio/arresto one-touch con I/O e RS485 (Modbus-RTU)

• Produzione di semiconduttori: camere di blocco del carico, moduli di trasferimento, interfacce di processo
• Cella solare a eterogiunzione (HJT): vuoto PECVD, svuotamento rapido
• Gigafactory di batterie al litio: essiccazione di celle ad alto volume e lavorazione sotto vuoto
• Rivestimento sotto vuoto: Load-Lock per il trasferimento del substrato mantenendo il vuoto nella camera